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常圧プラズマ(大気圧プラズマ)の用途

アプリケーション例

APsolution

常圧プラズマ技術が、IT分野製造工程に新しいソリューションを提案します

ポリイミドの表面改質

常圧プラズマ(窒素プラズマ)の照射により、有機結合が切断され、酸素を含んだ官能基が形成されます。

樹脂の表面改質図

ポリイミド表面を常圧プラズマ処理することによって、酸素を含んだカルボニル基(C=O)と

カルボキシル基(O-C=O)の結合が増加したことが認められます。

■XPSチャートによる結合状態解析

XPSチャートによる結合状態解析

ポリイミドフィルムをエポキシ系接着剤を使って貼り合わせ、ピール強度(90度剥離)を測定した結果

約3倍の接着強度を確認することができました。(プラズマ処理品では凝集剥離)

■ポリイミドフィルムの接着強度

ポリイミドフィルムの接着強度

 

BGA基板のボンディングパッド(Au)の洗浄

金パッド部を常圧プラズマ処理することによって、有機汚染物の洗浄効果により、ワイヤーボンディングの接着信頼性を向上させることができます。

XPSチャートによる結合状態解析

 

銅パッド部の樹脂残滓の除去

銅パッド部の樹脂残滓を常圧プラズマ処理によって除去し、メッキ信頼性等を向上させることができます。

処理前と処理後写真

 

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