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常圧プラズマ表面処理装置

常圧プラズマ表面処理装置

搬送ラインへの組み込み例 標準ユニット

表面改質ユニットのしくみ
特徴
  • 低コスト(COO)< 1/2
  • ダメージレス
  • 広幅対応(G8)
  • 処理均一性

当社プラズマとエキシマとの比較

プロセス

アイテム

EUV

プラズマ

備考

プロセス時間

 

均一性

±15%

±5%

 

用途展開

×

プラズマ:洗浄、表面処理、
エッチング

装置

Foot print

1(3lamp)

1/3
(1 unit)

備考

Maintenance
parts

1)EUV lamp
2)Quartz cover

EUV:ランプ寿命≒2000hr
プラズマ:電極寿命 >1Year

COO

1Year.c.o.o

1

<1/2

 

当社ラインナップの一例

ガラス世代

G8

G6

G4

ユニット

W450×L2680×H300mm

W240×L1640×H300mm

W240×L900×H300mm

プラズマ幅

2170mm

1500mm

760mm

電力仕様

6.6kw

4.6kw

2.4kw

供給電源

3Φ 200/220V 125A

3Φ 200/220V 75A

3Φ 200/220V 125A

ユーティリティ

電源、制御盤、処理ガス供給ユニット、電極温調ユニット、処理ガスの排気、電源冷却用市水

※内容は予告無く変更させていただく場合がありますので、予めご了承ください。

ユーティリティ仕様の一例(G6)

処理ガス供給ユニット
アイテム 仕様
供給圧力 0.8Mpa<
仕様流量 400~1000NL/min
精度 ±5%

電極温調ユニット
アイテム 仕様
電源仕様 3Φ 200/220V 30A

システム構成

システム構成の図

洗浄能力

搬送速度と処理能力、G8モデルの処理均一性のグラフ

■積水化学の大気圧プラズマ洗浄装置の特徴は?
積水化学の大気圧プラズマ洗浄は対象基材の濡れ性向上、接着向上、接合強度向上、印刷・塗工性向上を実現し、IT分野製造工程に新しいソリューションを提案します。
積水化学の大気圧プラズマ洗浄には、
・真空を必要としない大気圧プロセスのため、連続処理が可能でインライン化も容易
・ガスを選ばず、大気圧プラズマを発生させることが可能
・2種類の大気圧プラズマ発生方式により、様々な基材に対応可能
・リモート方式プラズマを採用することにより、基材へダメージを与えずにプラズマ洗浄が可能
といった特徴があります。
FPD工程、OLED工程、フィルム工程のみならずその他工程にも大気圧プラズマ洗浄装置はお応えします。
■積水化学工業のP2事業推進部とは?
世界No.1 シェアを持つ導電性微粒子や、液晶用シール材をはじめ、タッチパネル向けITO フィルム、感光性材料、半導体材料などの先進素材でIT の進歩をリードしているエレクトロニクス部門の一部として、独自の大気圧プラズマ技術を活かした半導体・LCD 用のフラットパネルディスプレイ製造装置を開発・提供しています。
大気圧プラズマ洗浄装置を中心に、他事業部とのケミストリーを発揮しながら、電子材料の分野でソリューションをご提供します。
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積水化学工業株式会社 P2事業推進部
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