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常圧プラズマ表面処理装置

プラズマ装置(大気圧プラズマ装置)製品情報

常圧プラズマ表面処理装置 RT Series

小型から大型まで各種基板(LCD、PDP、OLED)の表面洗浄・改質用途

フィルム用常圧プラズマ表面処理装置(R to R方式) RD Series

積水化学の常圧プラズマが、高機能フィルムの生産プロセスを革新します。

常圧プラズマエッチング装置 AP/E Series

「AP+Chemical」ガスエッチング

常圧CVD装置 AP/S Series

幅広い基板サイズ・用途に対応した絶縁膜CVD装置
■積水化学の大気圧プラズマ装置の特徴は?
積水化学の大気圧プラズマ装置質は対象基材の濡れ性向上、接着向上、接合強度向上、印刷・塗工性向上を実現し、IT分野製造工程に新しいソリューションを提案します。
積水化学の大気圧プラズマ装置には、
・真空を必要としない大気圧プロセスのため、連続処理が可能でインライン化も容易
・ガスを選ばず、大気圧プラズマを発生させることが可能
・2種類の大気圧プラズマ発生方式により、様々な基材の表面改質が可能
・リモート方式プラズマを採用することにより、基材へダメージを与えずに表面改質が可能
といった特徴があります。
FPD工程、OLED工程、フィルム工程のみならずその他工程にも大気圧プラズマ装置はお応えします。
■積水化学工業のP2事業推進部とは?
世界No.1 シェアを持つ導電性微粒子や、液晶用シール材をはじめ、タッチパネル向けITO フィルム、感光性材料、半導体材料などの先進素材でIT の進歩をリードしているエレクトロニクス部門の一部として、独自の大気圧プラズマ技術を活かした半導体・LCD 用のフラットパネルディスプレイ製造装置を開発・提供しています。
大気圧プラズマ装置による表面処理を中心に、他事業部とのケミストリーを発揮しながら、電子材料の分野でソリューションをご提供します。
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積水化学工業株式会社 P2事業推進部
〒601-8105 京都市南区上鳥羽上調子町2-2(京都研究所内)
TEL.075(662)8621(代) FAX.075(662)8940


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