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プラズマとは?

積水化学 常圧プラズマ

 ・真空を必要としない常圧プロセスのため、連続処理が可能でインライン化も容易
 ・ガスを選ばず、プラズマを発生させることが可能
 ・2種類のプラズマ発生方式により、様々な基材に対応可能
 ・リモート方式プラズマを採用することにより、基材へダメージを与えずに処理が可能

 

常圧プラズマ発生原理

独自のプラズマ発生技術により、常圧下において均一なグロー放電プラズマの発生が可能

一般的常圧放電チャート

当社常圧プラズマのしくみ図

常圧プラズマ発生方式

XPSチャートによる結合状態解析

【ダイレクト方式】

→放電空間に基材を通し直接プラズマ処理
高速処理に有利

【用途例】

基板洗浄(チップを載せる前の基板)

表面改質、デスミア etc.

 

処理前と処理後写真

【リモート方式】

→放電空間から活性種を吹き付けプラズマ処理
基材への電気的ダメージの低減に有利

【用途例】

基板洗浄(チップを載せた後の基板)

アッシング etc.

 

 

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